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  • Park NX-Hivac高真空原子力顯微鏡通過為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比,高真空測量具有準(zhǔn)確度高、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點,因此用戶可測量各種故障分析應(yīng)用中許多信號響應(yīng),例如掃描擴散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。

    更新日期:2024-09-12
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  • Park NX20原子力顯微鏡作為缺陷形貌分析的精密測量儀器,可進行大型樣品精密測量并憑借著高精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性,在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。

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  • Park NX20 300mm原子力顯微鏡是業(yè)界創(chuàng)新型大樣品原子力顯微鏡,支持300mm×300mm全程機動化。新升級的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實驗室設(shè)計,可有效地檢測整個300mm晶圓,且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺,但Park的創(chuàng)新性振動隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (Å) RMS,通常是0.3 Å RMS的水平。

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  • Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實驗室里的研究人員處理各種樣品、進行多變量實驗,也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統(tǒng)性工作。

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  • Park NX12原子力顯微鏡力求重新構(gòu)建,以適應(yīng)許多用戶設(shè)備需求。其他原子力顯微鏡解決方案缺乏必要的多功能性,難以滿足該設(shè)備中用戶的多重需求,很難合理控制設(shè)備成本。然而,Park NX12旨在能夠容納標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境原子力顯微鏡成像,液體掃描探針顯微鏡,光學(xué)和納米光學(xué)成像,使其成為靈活的原子力顯微鏡之一。

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  • Park NX7原子力顯微鏡 配有Park原子力顯微鏡前沿技術(shù),其設(shè)計與新型顯微鏡一樣彰顯細節(jié)品質(zhì),可以有效助您取得精準(zhǔn)的研究成果。

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